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Correo electrónico : sales9@apterpower.com
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 Agregar:Distrito de Siming, Xiamen, Fujian, China |
Información del producto
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El ASM LVC-414-3 54-107950A15 es un controlador de flujo másico de vapor líquido de alta precisión diseñado para su integración en equipos de procesamiento de obleas de semiconductores, en particular en clústeres de herramientas de deposición química en fase vapor (CVD) y deposición de capas atómicas (ALD). El módulo actúa como un subcomponente inteligente que mide y regula con precisión el flujo másico exacto de los gases portadores a medida que pasan por burbujeadores químicos para recoger y distribuir los dopantes precursores en la cámara de procesamiento. Construido con conductos internos de gas resistentes a productos químicos, robustos y de alta pureza, y una interfaz de control analógica/digital, el LVC-414-3 evita la condensación de precursores, mantiene relaciones de concentración vapor-gas altamente repetibles y garantiza la uniformidad de la película y la estabilidad del proceso en entornos críticos de vacío de salas limpias. |
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Alimentación estándar para lógica operativa: ±15 V CC Interfaz de entrada de comandos/puntos de ajuste: analógica de 0 a 5 VCC Interfaz de monitorización del flujo de salida: analógica de 0 a 5 VCC |
Temperatura ambiente de funcionamiento: de 5 °C a 50 °C. Presión máxima del sistema: 10 bar Estándar de integridad de fugas: ≤ 1 × 10⁻⁹ atm·cc/seg Helio |
Grandes empresas
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AnyBus (Puerta de enlace) |
Pantalla industrial de baja frecuencia |
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Módulo de entrada/salida remoto (RTU) |
Productos auxiliares relacionados con el control industrial |
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Ordenadores industriales (IPC) |
Interfaz hombre-máquina |
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Controlador lógico programable (PLC) |
Discos duros de baja capacidad para uso industrial SCSI |
Otros productos
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6ES7307-1EA00-0AA0 |
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IC693PWR321AA |
IS200TRLYH1BGG |
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6ES7155-6AU00-0CN0 |
6ES7350-2AH01-0AE0 |
IS215VPROH1BE |
IS200EPSMG1ADC |
Preguntas frecuentes
Nº 1: ¿Puedo pagar el depósito por adelantado si compro muchos artículos?
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Nº 2: ¿Puedo obtener algún descuento?
El precio es negociable y le ofreceremos el precio adecuado según la cantidad de su pedido.
Nº 3: ¿Cuánto debo pagar por los gastos de envío?
Depende del peso de la mercancía, del servicio de mensajería elegido y del destino.
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