Información del producto

La DAIHEN FLB-60M-03 0190-19674 es una placa de control de microprocesador industrial de alta precisión integrada en redes de gestión de potencia de plasma de radiofrecuencia (RF) de 60 MHz. Este hardware actúa como motor de cálculo para redes de adaptación automatizadas, que monitorizan activamente las complejas variaciones de impedancia entre un generador de RF industrial y una cámara de procesamiento al vacío. Mediante la ejecución continua de algoritmos de bucle cerrado, la placa calcula las coordenadas de compensación en tiempo real, controlando los ajustes del motor y los sintonizadores de fase para maximizar la transmisión de potencia, minimizar la potencia reflejada y mantener una ignición de plasma estable durante la microfabricación.

Frecuencia de funcionamiento del sistema: 60 MHz

Entrada de riel de procesamiento lógico: consume voltaje estándar de +5 VCC (±5%).

Rieles de tensión de control analógico: Requiere entradas de alimentación secundarias de +15 VCC y -15 VCC.

Resolución de captura analógica: Los canales de datos analógico-digitales integrados utilizan matrices de conversión de 12 bits.

Temperatura ambiente de funcionamiento: de 15 °C a +40 °C

Rango de temperatura de almacenamiento: -10 °C a +60 °C

Límite de humedad relativa: del 20% al 80% HR (sin condensación)

Emerson

TEJIDO

SIEMENS

PR6426-010-000 CON021-916-160

SA801F 3BDH000011R1

6AV6542-0AG10-0AX0

1B30035H01

IMFEC11

6AV2124-0MC01-0AX0

A6210

NI0C01 3BSE005735R1

6ES5314-3UA11

SP1406

SAFT171PAC

6AV3627-1LK00-1AX0

8752-CA-NS-02

PFUK104-YM110002-SD

6DS1200-8BA

PR6423'01K-010 CON021

PFSK101 YM322001-ED

6ES7334-0CE01-0AA0

38B6041X082

HIEE400109R1 HI022755-310 CS A465 AE01

6ES7317-2EK14-0AB0

5X00109G02

NTCF02

6EP1931-2FC21

PR6423-013-010 CON021

PFUK108 YM110001-SH

6ES7332-8TF01-0AB0

HD11010-3A

PM860AK01 3BSE066495R1

6EP3437-8SB00-0AY0

KJ4005X1-BC1 12P4680X032

NDCU-21 63985317B

6ES7321-1BH02-0AA0

5X00790G01

C87-11006

6EP1334-3BA10