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Controlador de flujo másico digital MKS MC20A-30134

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Controlador de flujo másico digital MKS MC20A-30134

MC20A-30134
Condición:
New Original
En stock:
25
Peso
1.1kg
Dimensión
13.5x4x17cm
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  • Servicio y política
Categoría de producto:Serie de controladores de flujo másico térmico de alto flujo ALTA™ de MKS Instruments
Estado del producto:Nuevo y original
Código arancelario:85371091
Descripción del Producto:
Controlador de flujo másico digital MKS MC20A-30134
El MKS MC20A-30134 es un controlador digital de flujo másico térmico de alto caudal de 24 V CC. Gracias a los protocolos DeviceNet, el MKS MC20A-30134 proporciona una estabilización de gas ultrarrápida y una precisión de punto de ajuste del 1 % para aplicaciones de semiconductores.
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WhatsApp:+86 17359287459 Correo electrónico:sales15@amikon.cn
Agregar:Distrito de Siming, Xiamen, Fujian, China

Introducción del producto

ElInstrumentos MKS MC20A-30134Es un controlador de flujo másico térmico totalmente digital y de alto rendimiento. Como parte de la familia de productos ALTA™, este dispositivo integra un sensor de flujo másico térmico especializado, un controlador de retroalimentación de circuito cerrado de acción rápida y una válvula de control sellada totalmente metálica en un solo cuerpo compacto. Diseñado para satisfacer los estrictos requisitos de rendimiento de la herramienta y de ajuste preciso de la cámara, la unidad cuenta con tiempos de estabilización de gas ultrarrápidos e incluye un banco de memoria de calibración multigás integrado.

 

✦ Tensión de entrada requerida: 11 a 25 V CC

✦ Corriente máxima en estado estacionario: consumo máximo de corriente de 475 mA

✦ Diferencial de presión normal de funcionamiento: de 10 a 40 psid

✦ Límites de temperatura de funcionamiento: 0 °C a +50 °C (32 °F a 122 °F) margen de funcionamiento estándar del gabinete

✦ Rango de temperatura de almacenamiento: -20 °C a +65 °C (-4 °F a 149 °F)

✦ Señalización de entrada/salida de flujo analógico: comando de punto de ajuste de 0 a 5 VCC y bucle de seguimiento de salida

 

Aplicaciones por industria

Fabricación de dispositivos semiconductores:

Se utilizan ampliamente en el interior de las varillas de suministro de gas para alimentar con masas exactas de gases de proceso a las cámaras de las herramientas de deposición química de vapor (CVD) y grabado por plasma.

Recubrimiento de película delgada de alta pureza:

Integrado en los procesos de fabricación de lentes ópticas, vidrio y células solares para garantizar un crecimiento uniforme de la capa de película mediante parámetros de flujo de masa constantes.

Fabricación de productos farmacéuticos y médicos:

Se implementa en entornos de salas blancas para mantener un equilibrio estricto de gases portadores especializados durante la síntesis de fármacos y los tratamientos de vacío de dispositivos médicos.

Empresas de mezcla y distribución de gas:

Se utiliza como nodo digital localizado para regular continuamente los flujos de suministro de múltiples gases, registrando la telemetría en tiempo real en un nodo maestro PLC centralizado a través de los protocolos DeviceNet.

Industria y marca

✅ Plantas químicas y petroleras: ABB, Bently Nevada, HIMA, Invensys, Westinghouse, Philips

✅ Marina/Buques marinos: ABB, GE

✅ Subterráneos, ferrocarriles: AB (Allen-Bradley), Schneider, Invensys

✅ Plantas de vidrio: AB (Allen-Bradley)

✅ Plantas de impresión: AB (Allen-Bradley), GE

✅ Plantas de energía hidroeléctrica: AB (Allen-Bradley), GE, Schneider

✅ Plantas de cemento: AB (Allen-Bradley), Schneider

✅ Plantas de energía eólica: ABB, Bachmann

✅ Energía nuclear: AB (Allen-Bradley), ABB, Invensys, Emerson

✅ Energía térmica, acerías: Honeywell, ABB

 

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