ElVerteq1078234.5.1 1069347.3 Es un sistema transformador de adaptación de impedancia de RF de alta frecuencia diseñado para aplicaciones especializadas de limpieza megasónica en la fabricación de semiconductores. Actúa como una red de balanceo pasiva en línea ubicada entre un generador acústico central de alta frecuencia y un conjunto de transductores piezoeléctricos montados sobre cuarzo. Al adaptar dinámicamente las características de la carga eléctrica y cancelar la impedancia reactiva, el módulo garantiza la máxima conversión de potencia directa, mantiene una distribución uniforme de la onda acústica en los tanques de fluido de procesamiento y protege los controladores electrónicos complejos de la peligrosa energía de la onda reflejada.

Nivel de impedancia primaria:

50 Ω (Ohmios)

Espectro de frecuencia resonante:

De 830 kHz a 870 kHz

Entorno Operativo Ambiental:

De 15 °C a +40 °C

Voltaje máximo de RF (V_RMS):

De 150 V a 300 V RMS

Capacidad de corriente de RF (I_RMS):

De 3A a 8A RMS

Uniformidad de la onda acústica:Optimiza la emisión de energía acústica para evitar "puntos calientes" localizados o zonas muertas dentro del tanque de fluido químico, lo que garantiza una limpieza uniforme en toda la superficie del sustrato.

Supresión de energía reflejada:Reduce eficazmente la relación de onda estacionaria de voltaje (VSWR) a un valor cercano a 1:1, evitando que la energía de retorno se convierta en calor destructivo dentro del generador de RF aguas arriba.

Prevención de daños en las obleas:Estabiliza los umbrales de cavitación de alta frecuencia para eliminar de forma segura partículas orgánicas submicrométricas sin fracturar las delicadas características de la oblea con alta relación de aspecto.

Carcasa resistente a la corrosión:Encapsulado en materiales de alta pureza e inertes químicamente, compatibles con los entornos químicos agresivos de las salas blancas húmedas.